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刻蝕機 半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備,刻蝕機工廠
產(chǎn)品型號:IBE/RIE干法刻蝕
產(chǎn)品代碼:
產(chǎn)品價格:400000
計量單位:臺
折 扣 率: 0
最后更新:2025-05-13
關(guān) 注 度:776
生產(chǎn)企業(yè):成都超邁光電科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹    超邁光電大口徑刻蝕機主要用于半導(dǎo)體刻蝕,能夠兼容離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕功能,使用氣態(tài)化學(xué)刻蝕劑與材料產(chǎn)生反應(yīng)來進行刻蝕,并形成可從襯底上移除的揮發(fā)性副產(chǎn)品,通過真空系統(tǒng)排出,特別適合刻蝕熔融石英、硅、光刻膠、聚酷亞胺( PI) 薄膜、金屬等材料。
刻蝕設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中占據(jù)著至關(guān)重要的地位,可以實現(xiàn)納米級的精密刻蝕。對復(fù)雜微結(jié)構(gòu)的器件加工,微電子器件的制造提供重要支持,在芯片領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。

    成都超邁光電科技有限公司,為國家高新技術(shù)企業(yè)、國家標(biāo)準(zhǔn)擬定單位、創(chuàng)新型中小企業(yè)、省專精特新企業(yè)、新經(jīng)濟雙百企業(yè),已通過GB/T與GJB雙體系認(rèn)證。


    公司致力于真空鍍膜、等離子刻蝕、人工晶體材料和特殊裝備的技術(shù)提升,具有全系列涂層服務(wù)裝備和檢測手段,已申請國家專利60余項,授權(quán)專利與軟件著作權(quán)50余項,擬定國家標(biāo)準(zhǔn)2項,行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項,為中國物理學(xué)會固體缺陷專家委員單位,全國電熱裝備標(biāo)準(zhǔn)化委員會單位,已形成工業(yè)級、科研級和特殊級三大產(chǎn)品系列,公司在南充高新區(qū)(順慶高新區(qū))建有超邁智能產(chǎn)業(yè)園,一期已完成3.5萬平方米廠房和配套辦公生活設(shè)施建設(shè),具備強大的研發(fā)和制造能力。
成都超邁光電科技有限公司
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